ASTM F390-2011用共線四探針?lè)y(cè)定金屬薄膜的薄膜電阻的標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)方法
發(fā)布時(shí)間： 2023-08-24 12:37:51 點(diǎn)擊： 1023
ASTM F390-2011用共線四探針?lè)y(cè)定金屬薄膜的薄膜電阻的標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)方法
ASTM F390-2011是一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的試驗(yàn)方法，用于使用共線四探針?lè)y(cè)定金屬薄膜的薄膜電阻。以下是該方法的基本概述：
準(zhǔn)備設(shè)備：需要準(zhǔn)備共線四探針測(cè)量設(shè)備、金屬薄膜樣品、夾具、電源、信號(hào)發(fā)生器、測(cè)量?jī)x表等。
樣品制備：制備金屬薄膜樣品，確保其表面平整、無(wú)瑕疵，并滿足試驗(yàn)要求。
探針的放置：將共線四探針按要求放置在金屬薄膜樣品的表面上，確保探針間距準(zhǔn)確且相互平行。
電源連接：將電源連接到共線四探針測(cè)量設(shè)備的輸入端，并將信號(hào)發(fā)生器連接到輸出端。
測(cè)試信號(hào)的施加：通過(guò)共線四探針測(cè)量設(shè)備向金屬薄膜樣品施加測(cè)試信號(hào)，例如直流電壓或交流電壓。
電阻測(cè)量：通過(guò)測(cè)量?jī)x表讀取探針間的電壓降，并根據(jù)探針間距計(jì)算出金屬薄膜的薄膜電阻。
數(shù)據(jù)記錄和處理：記錄試驗(yàn)過(guò)程中的數(shù)據(jù)，例如測(cè)試信號(hào)的波形、探針間的電壓降、計(jì)算的薄膜電阻等。
重復(fù)試驗(yàn)：為了獲得更準(zhǔn)確的結(jié)果，可以重復(fù)進(jìn)行試驗(yàn)，并取平均值。
需要注意的是，該方法的具體步驟和要求可以在ASTM F390-2011標(biāo)準(zhǔn)中詳細(xì)查閱。
共線四探針?lè)ㄊ且环N用于測(cè)量薄膜電阻的測(cè)試方法。該方法的基本原理是，在薄膜表面上使用四個(gè)探針按一定間距排列，施加測(cè)試信號(hào)，并通過(guò)測(cè)量探針間的電壓降來(lái)計(jì)算薄膜電阻。共線四探針?lè)ㄖ饕獞?yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)，用于測(cè)量半導(dǎo)體薄膜的電阻率。
ASTM F390-2011是一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的試驗(yàn)方法，用于使用共線四探針?lè)y(cè)定金屬薄膜的薄膜電阻。以下是該方法的基本概述：
準(zhǔn)備設(shè)備：需要準(zhǔn)備共線四探針測(cè)量設(shè)備、金屬薄膜樣品、夾具、電源、信號(hào)發(fā)生器、測(cè)量?jī)x表等。
樣品制備：制備金屬薄膜樣品，確保其表面平整、無(wú)瑕疵，并滿足試驗(yàn)要求。
探針的放置：將共線四探針按要求放置在金屬薄膜樣品的表面上，確保探針間距準(zhǔn)確且相互平行。
電源連接：將電源連接到共線四探針測(cè)量設(shè)備的輸入端，并將信號(hào)發(fā)生器連接到輸出端。
測(cè)試信號(hào)的施加：通過(guò)共線四探針測(cè)量設(shè)備向金屬薄膜樣品施加測(cè)試信號(hào)，例如直流電壓或交流電壓。
電阻測(cè)量：通過(guò)測(cè)量?jī)x表讀取探針間的電壓降，并根據(jù)探針間距計(jì)算出金屬薄膜的薄膜電阻。
數(shù)據(jù)記錄和處理：記錄試驗(yàn)過(guò)程中的數(shù)據(jù)，例如測(cè)試信號(hào)的波形、探針間的電壓降、計(jì)算的薄膜電阻等。
重復(fù)試驗(yàn)：為了獲得更準(zhǔn)確的結(jié)果，可以重復(fù)進(jìn)行試驗(yàn)，并取平均值。
需要注意的是，該方法的具體步驟和要求可以在ASTM F390-2011標(biāo)準(zhǔn)中詳細(xì)查閱。
共線四探針?lè)ㄊ且环N用于測(cè)量薄膜電阻的測(cè)試方法。該方法的基本原理是，在薄膜表面上使用四個(gè)探針按一定間距排列，施加測(cè)試信號(hào)，并通過(guò)測(cè)量探針間的電壓降來(lái)計(jì)算薄膜電阻。共線四探針?lè)ㄖ饕獞?yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)，用于測(cè)量半導(dǎo)體薄膜的電阻率。
