半導(dǎo)體電阻率測試儀工作原理,操作流程及使用方法
發(fā)布時(shí)間： 2023-09-21 14:52:58 點(diǎn)擊： 420
半導(dǎo)體電阻率測試儀工作原理,操作流程及使用方法
半導(dǎo)體電阻率測試儀是用于測量半導(dǎo)體材料電阻率、方塊電阻（薄層電阻）以及金屬薄層電阻的儀器。它根據(jù)四探針測試原理，可以用于片狀、棒狀等半導(dǎo)體材料的測量。這類測試儀具有測量精度高、范圍廣、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便、價(jià)格低等特點(diǎn)。
半導(dǎo)體電阻率測試儀的測量范圍通常包括：電阻率，方塊電阻（薄層電阻），以及薄層金屬電阻。數(shù)字電壓表是儀器的關(guān)鍵部分，其量程和分辨率會(huì)直接影響測量結(jié)果。恒流源也是儀器的關(guān)鍵部分，其輸出電流應(yīng)可調(diào)節(jié)。此外，測試探頭的機(jī)械游移率也是影響測量結(jié)果的關(guān)鍵因素。
半導(dǎo)體電阻率測試儀的測量結(jié)果可能會(huì)受到被測材料的尺寸、形狀、表面粗糙度等因素的影響，因此在使用時(shí)需要選擇合適的測試方法和測試條件。此外，為了保證儀器的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性，需要定期對(duì)儀器進(jìn)行校準(zhǔn)和維護(hù)。
常用的接觸式測量半導(dǎo)體材料電阻率的方法主要有兩種：兩探針法和四探針法。兩探針法利用探針與體電阻直接接觸，避免了與測試電阻的接觸從而消除誤差。四探針法直線四探針法是用針距約為毫米的四根探針同時(shí)壓在樣品的平整表面上，利用恒流探針通以一個(gè)小電流，然后用高輸入阻抗的電位差計(jì)、電子毫伏計(jì)或數(shù)字電壓表測量電壓。利用高阻值電壓計(jì)測得探針間的電壓值，從而根據(jù)公式為探針系數(shù)是常數(shù)，它可以測量樣品沿徑向分布的斷面電阻率
半導(dǎo)體材料電阻率測試儀的操作步驟可以按照以下進(jìn)行：
先備制好樣品，樣品一般需要在恒定的環(huán)境下放置一定的時(shí)間，來保證樣品性質(zhì)的一致性。
開機(jī)預(yù)熱，并準(zhǔn)備好電腦開啟PC軟件，及固定好測試平臺(tái)的調(diào)節(jié)，探頭。
將樣品放置于平臺(tái)上，并將旋轉(zhuǎn)上下調(diào)節(jié)旋鈕將探頭探針調(diào)節(jié)并壓著樣品表面。
此時(shí)需要在顯示器上設(shè)置好測試條件，包括：測試電壓，電流、探針間距、通訊方式選擇、探針間距等相關(guān)數(shù)據(jù)。
