FT-3120C半自動四探針測試儀
發(fā)布時間： 2024-04-29 16:35:17 點擊： 1079
FT-3120C半自動四探針測試儀
一.功能描述：
四點探針標(biāo)準(zhǔn)測試方法，采用步進(jìn)系統(tǒng)自動控制探頭與樣品接觸，減少人為因素對測試結(jié)果的影響；參照A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)；測量方塊電阻、電阻率、電導(dǎo)率數(shù)據(jù)、PC軟件采集和數(shù)據(jù)處理實現(xiàn)自動點測模式或手動點測模式，同一位置的重復(fù)測試或多點的面電阻測量，報表輸出數(shù)據(jù)統(tǒng)計分析；提供標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)電阻件.
二.適用范圍：
晶圓、非晶硅/微晶硅和導(dǎo)電膜電阻率測量；選擇性發(fā)射極擴(kuò)散片；表面鈍化片；交叉指樣PN結(jié)擴(kuò)散片；新型電極設(shè)計，如電鍍銅電阻測量等；半導(dǎo)體材料分析，鐵電材料，納米材料，太陽能電池，LCD，OLED，觸摸屏等.
規(guī)格型號 FT-3120C
1.電阻 10^-6～2×10^5Ω
2.方塊電阻 10^-6～2×10^5Ω/□
3.電阻率 10-7～2×106Ω-cm
4.測試電流 1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA
5.電流精度 ±0.1%
6.電阻精度 ≤0.3%
7.PC軟件操作 PC軟件界面：電阻、電阻率、電導(dǎo)率、方阻、溫度、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、數(shù)據(jù)管理分析：過程數(shù)據(jù)，大、小值，均值，方差，變異系數(shù)，樣品編號，測試點數(shù)統(tǒng)計報表生成等
8.探針范圍： 探針壓力為100-550g；依據(jù)樣品接觸需要手動調(diào)節(jié)
9.探針 針間絕緣電阻：≥1000MΩ；機(jī)械游移率：≤0.3%
圓頭銅鍍金材質(zhì)，探針間距1mm；2mm；3mm選配，其他規(guī)格可定制
10.可測晶片
尺寸選購 晶圓尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm）；
方形片：大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm
11.分析模式 自動或手動單點模式
12.加壓方式 測量重復(fù)性：重復(fù)性≤3%
13.防護(hù)功能 具有限位量程和壓力保護(hù);誤操作和急停防護(hù);異常警報
14.測試環(huán)境 實驗室環(huán)境
15.電源 輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<100W
16.選購項目 電腦和打印機(jī)
